Panasonic Drive + Hollow Shaft Motor memastikan panjang - terma, tinggi - kecekapan, dan operasi yang stabil.
Hollow Shaft High - Struktur Motor Kelajuan: Kelajuan Rated: 5000rpm, kelajuan maksimum 6000-8000rpm.
Ultra - Pantas cepat/penurunan masa: 47750R/s².
Kebisingan rendah, getaran rendah, pekali runout akhir aci serendah 0.01mm.
Reka bentuk aci berongga vakum dan reka bentuk akhir aci yang unik memastikan operasi bahagian lancar.
Kuasa motor: 750/1000W, air - reka bentuk sistem yang disejukkan, memenuhi keperluan wafer 6 inci, 8 inci, dan 12 inci.
Reka bentuk akhir aci disesuaikan tersedia untuk pengguna yang berbeza.
